工作台100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm重复再现性0
工作台 | 100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm 重复再现性0.75μm以下 定位精度±3.0μm |
物镜 | 5×、10×、20×、50×、100× |
照明 | LED照明 |
AF | 自动聚焦激光方式 |
摄像头 | CCD 500万像素 |
分辨率 | LMPLFLN20× N.A0.40 W.D12.00mm 0.177μ/Pixel LMPLFLN50× N.A0.50 W.D10.60mm 0.071μ/Pixel |
测定再现性 | 0.1μm以下 |
软件 | 专用软件SLM101 |
测定功能 | 自动线宽测定功能 |
选项 | 自动传送对应 |
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