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线宽测量显微镜

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工作台100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm重复再现性0

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工作台

100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm

重复再现性0.75μm以下

定位精度±3.0μm

物镜

5×、10×、20×、50×、100×

照明

LED照明

AF

自动聚焦激光方式

摄像头

CCD 500万像素

分辨率

LMPLFLN20× N.A0.40 W.D12.00mm 0.177μ/Pixel

LMPLFLN50× N.A0.50 W.D10.60mm 0.071μ/Pixel

测定再现性

0.1μm以下

软件

专用软件SLM101

测定功能

自动线宽测定功能

选项

自动传送对应



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