可测量各种精密机械零件的素线和截面轮廓形状参数，角度处理（坐标角度、与Y坐标的夹角、两直线夹角）、圆处理（直线到切线的距离、圆心到圆心距离、圆弧半径、交点到圆心的距离、圆心到直线距离）、点线处理（交点到直线距离、交点到圆心距离、两直线交点、交点与交点距离）、槽深、槽宽、水平、垂直距离、倾斜度、轮廓度等形状参数。
X轴（横导轨）：120mm
Z1轴（传感器）：50mm
Z轴（立柱）：400mm
精度1：±(0.7+0.002L)μm
精度2：±(0.4+0.005H/100)μm
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