Park NX-Wafer

Park NX-Wafer 为在线晶圆厂计量提供高生产率和强大特性高吞吐量晶圆厂检测和分析沟设槽备宽前度端、模深块度（E和F角EM度）测用量于的自自动动晶数圆据传采送集和分析

为在线晶圆厂计量提供高生产率和强大特性

高吞吐量晶圆厂检测和分析

沟设槽备宽前度端、模深块度（E和F角EM度）测用量于的自自动动晶数圆据传采送集和分析

精确的亚埃级表面粗糙度控制

真界实最非低接噪触音模低式至使0得.5参A数rm相S关·遍结布果整具个有晶免圆疫区性域 保比持其探他针AF针M有尖1的0锐倍度-20以倍达的到更表长面的粗探糙针度寿精命度

全自动化高吞吐量缺陷成像

直通特接过定连更接强到的缺视自陷觉动映来放射进大检行AF测自M扫动设描坐备而标不转需换要和进缺陷行移映射动校平台正的校准

详情：

Park AFM NX-Wafer Brochure-中文.pdf