Nikon开发的高精度、高速量测及高NA的CNC影像量测仪VMZ-RSeries，不只在精度上再升级，在Ｚ轴的量测高度上也做了提升，让产品的量测拥有更高的多元性
Nikon开发的高精度、高速量测及高NA的CNC影像量测仪VMZ-R Series，不只在精度上再升级，在Ｚ轴的量测高度上也做了提升，让产品的量测拥有更高的多元性。
●新雷射系统
除原有影像对焦及雷射对焦、扫描等功能，新的雷射感应器也可量测膜的表面及底部，进而测量膜厚。
●创新光源设计
表面光、底部光及环型光皆采用LED的設計，光源更稳定且寿命更長。
环型光源有三种不同照射角度且八方向的设计，让边界的量测更加简易。
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