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ULTRA QV404 363 三丰 超高精度CNC影像测量仪

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三丰 超高精度CNC影像测量仪
ULTRA QV404  363 系列 — 超高精度CNC 影像测量系统
 
• ULTRA QV404 是实现了世界测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。
• 为了将直线度误差控制至小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。
• 通过FEM (有限要素法) 解析后的设计实现了本体的高刚性化

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三丰 超高精度CNC影像测量仪

 

ULTRA QV404  363 系列 — 超高精度CNC 影像测量系统

 

• ULTRA QV404 是实现了世界dingji测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。
• 为了将直线度误差控制至小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。
• 通过FEM (有限要素法) 解析后的zuijia设计实现了本体的高刚性化。
• 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式线性编码器。该编码器的线性膨胀系数为零,将温度变化产生的误差控制到小限度。

 

规格

 

 

ULTRA QV 404

测量范围 (X×Y×Z)

400×400×200mm

放大倍率转换系统

PPT1X-2X-6X

分辨率

0.01 μm

长度测量装置

线性编码器

影像测量方法

CCD 照相机

测量精度

E1X, E1Y

(0.25+L/1000)μm

E1Z

(1.5+2L/1000) μm (测量范围: 200mm)
(1.0+2L/1000) μm (测量范围: 10 - 60mm)

E2XY

(0.5+2L/1000)μm

LAF重复精度

σ = 0.4μm

照明装置

同轴照明/ 透射照明/ 程控环形照明

工作台玻璃尺寸

493×551mm

台面大承重

40kg

尺寸 (W×D×H)

1172×1735×1910mm

重量( 包括机器设置台)

约 2150kg

 

三丰 超高精度CNC影像测量仪

常州首丰仪器科技有限公司

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