教学型纳米溅射镀膜仪

教学型纳米溅射镀膜仪

纳米薄膜材料

纳米薄膜材科是一种新型材料，具有的光学、力学、电磁学等特性，广泛的应用在重工业、轻工业、军事、石化等众多领域。纳米薄膜材料作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。制备纳米薄膜材料是制备纳米材料中比较成熟的技术，教学型纳米溅射镀膜仪器更是为中小学教学实验量身打造的一款教学仪器，方便学生自己操作制备纳米薄膜材料。

教学型纳米溅射镀膜仪

教学型纳米溅射镀膜仪是专为中小学研制的，方便教学实验的纳米材料制备仪器，通过溅射金属靶材，能够在非导电或者导电性能不良的试样上镀上一层金属如铜、金，银，钯，铂等薄膜。

简单原理

溅射镀膜是依靠等离子体从目标靶材中溅射出几个原子，在基片上形成纳米薄膜。涂层薄膜在快速周期时间内以细晶粒尺寸均匀地沉积。

优势特性

• 仅需一步，直接制备得到纳米薄膜;
• 可制备多种纳米薄膜，如金、银、铜等;
• 精确、可重复镀膜;
• 安全环保，没有副产物，适合教学实验;
• 操作简单，拿取样品简便，无须冷却，实验安全，适合于中小学学生操作。

教学功能及应用

• 简单操作即可制备纳米薄膜，实验常温进行，方便教学;
• 可设定溅射镀膜的时间或者是镀膜厚度，准确控制制备纳米薄膜;
• 可供学生进行创客实验，造物——在特定物件上镀上材料的纳米薄膜;
• 制备出的纳米薄膜可以用原子力显微镜或者扫描隧道显微镜来表征，可以了解制备的纳米薄膜的形貌、厚度、性质等可应用于纳创新实验室，特别是纳米创客工坊。

纳米科技教学仪器装备介绍
中国的纳米薄膜的制备方法，并对制备出的铜纳米薄膜，使用超微教学型原子力显微镜进行形貌结构检测。
实验准备：教学型纳米溅射镀膜仪、超微教学型原子力显微镜，铜靶材、载玻片、手套等。

教学案例 制备铜纳米薄膜
实验目标：学习纳米薄膜的制备方法，并对制备出的铜纳米薄膜，使用超微教学型原子力显微镜（T-AFM102）进行形貌结构检测。
实验准备：教学型纳米溅射镀膜仪、超微教学型原子力显微镜（T-AFM102，可自选型号），铜靶材、载玻片、手套等。
实验方法：
1.制备铜纳米薄膜
打开仪器电源；
操作仪器，放置被镀基片，抽真空；
设置靶材为Cu，设置镀层厚度；
仪器抽真空到电压后，按下镀膜开关，开始工作；
镀膜结束。
2.使用超微教学型原子力显微镜检测镀膜样品
打开T-AFM102的电源；
将已经镀层的样品放到T-AFM102上；
检测，获取形貌结构图

实验结果——检测图片

可看出溅射出的铜纳米薄膜的形貌结构图，起伏在55nm左右，薄膜总体较均匀，局部有纳米颗粒团簇。

纳米薄膜

纳米薄膜是指由尺寸在纳米量级的颗粒构成薄膜或者层厚在纳米量级的单层或多层薄膜。

应用范围

• 数据存储——硬盘

纳米薄膜技术实现硬盘容量翻

• 纳米触控膜

纳米触控膜广泛应用于手机、平板、纳米触控黑板等

• 光学涂层——建筑和抗反射玻璃

减反镀膜玻璃，透光率高、微观结构均匀、耐候性能良好

• 纳米薄膜锂离子电池

纳米薄膜让锂离子电池的大容量、长寿命

• 制备扫描电镜样品

扫描电镜检查溅射镀膜的蚂蚁标本

• 硅基技术

大面积柔性硅基薄膜电池组件储能效应