激光剥离系统（LLO）

激光剥离系统解决方案Laser Lift-off Solution（LLO）

产品型号：
Ex-LLO

应用领域：
LED蓝宝石衬底剥离
AMOLED玻璃基板剥离
Micro LED剥离及修复
薄膜选择性去除
微流控芯片
柔性电路板加工
玻璃表面微结构

选配：
1、激光器：
193nm，适合氮化铝AlN激光剥离
248nm，适合氮化镓GaN激光剥离
308nm，适合柔性屏（剥离基本跟PI层）激光剥离
2、激光剥离方式：
逐点剥蚀，适合小区域剥离，以及Micro LED修复
线扫描，适合大面积激光剥离，如AMOLED屏，柔性OLED屏，2英寸以上LED激光剥离等
3、机器视觉系统：
自动聚焦、自动定位、自动调平等