准分子激光剥离系统

Ex-Power是新一代准分子激光剥离系统。采用了高稳定性的作为光源，通过精密的光学系统设计，在光束传导过程中，对激光光斑进行整形和匀化，并通过专用的投影物镜，将激光均匀照射在材料表面。该系统具备结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高、能量密度大等优势。将紫外准分子激光技术和高精度的机械运动系统相结合，大大提高了激光剥离的质量和效率，非常适合工艺研发和批量工业生产。

技术特点：

1、193/248/308nm 激光器，短脉宽，高峰值功率；

2、静态气体寿命 >30 天；

3、激光器寿命 >5亿次脉冲；

4、能量密度 10J/cm²；

5、多种光路方案，可定制；

6、同轴机器视觉示意图，所见即所得，反射/透射同轴照明；

7、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，±1mm精度；

8、电动焦点控制（沿 Z 轴）；

9、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选；

10、功能全面，易于操作的专用加工软件；

应用领域：

1、LED 蓝宝石衬底剥离；

2、柔性屏与玻璃基板剥离；

3、微流控芯片；

4、柔性电路板加工；

5、玻璃表面微结构；

6、MiniLED剥离；

7、MircoLED剥离巨量转移；

8、激光修复；

9、晶圆与载体激光解键合；

光束传播特点：

1、能量控制范围 10-80%；

2、缩倍比 4x-20x；

3、焦距 25mm~150mm；

4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；

准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图 

参数：