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LEXT OLS4100

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LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。zui高分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能

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主机
LSM 部分光源、检出系统光源:405 nm 半导体激光
检出系统:光电倍增管
总倍率108x ~ 17,280x
变焦光学变焦1x ~ 8x
测量平面测量重复性00x: 3σn-1=0.02 µm
正确性测量值的±2%以内
高度测量方式物镜转换器上下驱动方式
行程10 mm
内置比例尺0.8 nm
移动分辨率10 nm
显示分辨率1 nm
重复性50x: σn-1=0.012 μm
正确性0.2 + L/100 μm 以下(L=测量长度μm)
彩色观察部分光源、检查系统光源:白色LED,
检查系统:1/1.8 英寸200 万像素单片CCD
变焦数码变焦1x ~ 8x
物镜转换器6 孔电动物镜转换器
微分干涉单元微分干涉滑片:U-DICR,
内置偏振光片单元
物镜明视场平面半消色差透镜5x、10x
LEXT 平面复消色差透镜20x、50x、100x
Z 对焦部分行程100 mm
XY 载物台100×100 mm(电动载物台),
选件: 300×300 mm(电动载物台)

此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。

物镜
型号倍率视场工作距离(WD)数值孔径(N/A)
MPLFLN5X108x-864x2,560-320 μm20.0 mm0.15
MPLFLN10X216x-1,728x1,280-160 μm11.0 mm0.30
MPLAPON20XLEXT432x-3,456x640-80 μm1.0 mm0.60
MPLAPON50XLEXT1,080x-8,640x256-32 μm0.35 mm0.95
MPLAPON100XLEXT2,160x-17,280x128-16 μm0.35 mm0.95


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