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WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪

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WaveMaster®PRO系列产品是为了适应波前质量的大批量检测的需求而研发的两款仪器,可自行设置合格标准,并根据该标准自动判定合格和不合格

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WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量的大批量检测的需求而研发的两款仪器,可自行设置合格标准,并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配备托盘系统,实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。

应用范围:

  • 生产线上的大批量镜头波前和表面面形的检测

  • 晶圆级镜头的波前检测



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