系统简介光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试，表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具
系统简介
光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试，表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。 可以测量各种材料的面形，提供各种参数，包括表面结构，面形和台阶高度等等的2D和3D 图形。与探针式接触式轮廓仪相比，由于采用非接触式的测量系统，没有耗材，不会引起待测件的损伤。
IMOS nanoprofilometer光学表面轮廓仪设计结构紧凑，具有两种测量模式，可定量测量微米尺度和纳米尺度表面形貌轮廓。具有测量速度快，测量精度高，性价比高的特点。
系统特点
测量各种材料的面形，包括平坦度，粗糙度，面形和台阶高度等
测量精度高，Z方向精度可打30pm
测量速度快，几秒钟内可捕捉超过两百万数据点。
与同类产品相比较（包括探针式接触式轮廓仪）具有高性价比，
结构紧凑，抗振隔振。
非接触式的测量系统，没有耗材，不会引起待测件的损伤。
操作简便，易于维护
支持大面积拼接测量
系统参数
| 测量面积 | 0.4X0.3mm2 |
| 横向精度 | ＞1µm |
| 纵向精度 | 30pm (Nanorelief模式) 0.3µm (Microrelief模式) |
| 测量范围 | 20µm (Nanorelief模式) 50mm (Microrelief模式) |
测试实例
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