Nova Nano 系列扫描电镜

Nova 系列扫描电子显微镜 (SEM) 具有低真空功能，是满足研究实验室、半导体和数据存储实验室和制造工厂、生物和生命科学实验室及其他行业各种成像、分析和样品制备需求的理想之选。 Nova 系统包含 EBIC、冷冻样品台、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精确真实的纳米尺度信息，**的高电压和低电压衬度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空对大多数带电或污染样品进行超高分辨率研究。这些均为 Nova™ NanoSEM 场发射扫描电镜多年前即已具备的基本特征。

Nova NanoSEM系列产品除的光学（包括双模*终透镜）、SE/BSE（二次电子/背散射电子）透镜内探测和射束减速的强大组合功能之外，采用了**一代高灵敏度伸缩式 SE/BSE 和 STEM 探测器的全新套件，并具备多功能SE/BSE 过滤功能，****地优化重要信息。智能扫描模式可用于****减少假像。样品清洁对于低电压高分辨率成像至关重要，可使用 FEI 整合解决方案（使样品表面免于碳氢化合物污染）加以维护。NovaNanoSEM 450 配置了** 200 nA 射束电流和大型电动倾斜样品台，分析能力因此也大幅提升。一切均不会影响 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

Nova NanoSEM 50 系列产品可使用其****的低真空能力表征或分析更多样品，包括大多数非导电或污染材料。由于 FEI Helix™ 探测器技术，低真空表征可一直扩展至超高分辨率。大小样品均可轻易置入大型样品室，并置于 Nova NanoSEM 高度精确且稳定的样品台上。此外，高清相机和相关导航装置可帮助迅速发现兴趣所在区域并移至相应区域。

至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列产品可提供***的整合工具**，包括 16 位板载数字图案生成器和**制图软件、高速静电射束熄灭装置以及用于直接电子束写入式纳米结构的气体注射系统。Nova NanoSEM 650 样品台配置了压电驱动马达，可在 150 x 150 mm 移动范围内实现更细致且更高的 XY 可重复性。

性能特点

场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子*
的光学和探测技术，包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可实现**信息选择和图像优化
低至 50 V 的射束着陆能量
1.4 nm @ 1 kV、无射束减速
**真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
高达 200 nA 的高真空或低真空分析
整合式 16 位扫描/制图引擎
超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统
150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)

应用领域

实验室、半导体和数据存储实验室和制造工厂、生物和生命科学实验室及其他行业各种成像、分析和样品制备需求。