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日本理学连续波长色散X射线荧光光谱仪ZSX Primus 400-华普通用

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Rigaku 的 ZSX Primus 400 连续波长色散 X 射线荧光 (WDXRF) 光谱仪专为处理非常大或重的样品而设计。

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连续波长色散X射线荧光光谱仪

Rigaku 的 ZSX Primus 400 连续波长色散 X 射线荧光 (WDXRF) 光谱仪专为处理非常大或重的样品而设计。该系统可接受直径为 400 毫米、厚度为 50 毫米和质量为 30 千克的样品,非常适合分析溅射靶材、磁盘,或用于多层薄膜计量或大型样品的元素分析。

优点

带有定制样品适配器系统的 XRF,适应特定样品分析需求的多功能性,可使用可选适配器插件适应各种样品尺寸和形状。凭借可变测量点(直径 30 毫米至 0.5 毫米,具有 5 步自动选择)和具有多点测量的映射功能以检查样品均匀性

具有可用相机和特殊照明的 XRF,可选的实时摄像头允许在软件中查看分析区域。

仍保留了传统仪器的所有分析能力。


安全性

采用上照射设计,样品室可简单移出,再不用担心污染光路,清理麻烦和增加清理时间等问题。


应用领域

固体、液体、粉末、合金和薄膜的元素分析:

溅射靶材组成.

隔离膜:SiO2BPSGPSGAsSGSi₃N₄SiOFSiON等。

 k 和铁电介质薄膜:PZTBSTSBTTa2O5HfSiOx

金属薄膜:Al-Cu-SiWTiWCoTiNTaNTa-AlIrPtRuAuNi等。

电极膜:掺杂多晶硅(掺杂剂:BNOPAs)、非晶硅WSixPt等。

其他掺杂薄膜(AsP)、困惰性气体(NeArKr等)、CDLC

铁电薄膜、FRAMMRAMGMRTMRPCMGSTGeTe

焊料凸点成分SnAgSnAgCuNi

MEMSZnOAlNPZT的厚度和成分

SAW器件工艺AlNZnOZnSSiO 2(压电薄膜)的厚度和成分;AlAlCuAlScAlTi(电极膜)


■ 技术参数

大样本分析 400 毫米(直径) 50 毫米(厚度)高达 30 千克(质量)

样品适配器系统适用于各种样本量

测量点30 毫米至 0.5 毫米直径5步自动选择

映射能力允许多点测量

样品视图相机(可选

分析范围Be - U

元素范围:ppm  %

厚度范围:sub Å  mm

衍射干扰抑制(可选单晶衬底的准确结果

符合行业标准SEMICE标志

占地面积小以前型号的 50% 占地面积





深圳华普通用科技有限公司

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