德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪

德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪产品简介：

EddyCus®TF实验室4040系列专用于上介质尺寸的衬底的非接触单点测量。

灵活适用的台式设备允许根据其设置对薄层电阻、金属厚度、光学透明度或电(非)各向同性进行准确的手动测量。

常见的应用包括测量薄导电透明和非透明层、晶片或金属片。

德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪可选型号：

该设备可以配备不同的传感器，包括用于电气特性的涡流传感器或用于光学特性的传感器。设备平台的变体涉及以下选项。

. 薄层电阻 – EddyCus® TF lab 4040SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]

. 金属厚度测试 – EddyCus® TF lab 4040MT [nm, µm, mm, mil]

. 混合系统：光学和电气传感的组合 – EddyCus® TF lab 4040HS(薄层电阻 + 光学透射率、反射率和漫透射率)

. 各向异性测试仪 – EddyCus® TF lab 4040A

. 湿涂层厚度和残留水分 – EddyCus® TF lab 4040HF

德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪产品特点：

. 非接触式、实时、稳健

. 准确且可重复的测量

. 高测量质量，不受以下因素影响：

  均匀的接触质量

  钝化/封装

  粗糙度

. 对敏感层无伤害

. 准确测量

  传统导电薄膜

  网格和线结构

  多层系统

  隐藏和封装的导电层

. 不穿

. 用于系统质量保证的软件指导手动映射

. 多种测量数据保存和导出功能

. 节省空间的智能显示器集成(用于每个触摸屏的测量和数据评估)

. 使用客户程序的软件开发套件测试自动化;

德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪技术规格：

技术：非接触式涡流(各种传感器类型)

单点测量

定位区域：760 mm x 660 (open) mm

推荐的样品尺寸：10 x 10 mm² 到 400 x 400 mm²(0.5 x 0.5 英寸到 16 x 16 英寸)

参数：

薄层电阻 0.1 mOhm/sq 至 100 kOhm/sq

金属层厚度 1 nm 至 2 mm(其他应要求提供)

光学透明度 0.01 – 100 %

电各向异性 0.33 - 3；