德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪产品简介：

EddyCus TF直列串联措施层性能，如金属层的厚度，片电阻，发射率，残留水分或克在各种基材上的非接触。

相关基材是玻璃、箔、纸、晶片、塑料或陶瓷。

监测是通过测量或触发事件来完成的，以便在快速移动的涂层过程中获得等距的结果。

监测解决方案可以在大气或真空条件下实施。使用涡流技术的过程受益于高采样率。

可以使用客户的软件为过程控制系统提供测量结果。

此外 SURAGUS 还提供监控软件 EddyCus EC Control，可对计量数据进行可视化、存储和分析。

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪传感器类型：

. EddyCus TF inline SR – 薄层电阻监测(包括发射率)

. EddyCus TF inline MT – 金属厚度监测

. EddyCus TF inline RM – 电阻率和电导率监测

. EddyCus TF inline HF – 残留水分监测

. EddyCus TF inline A – 薄层电阻和电各向异性监测；

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪产品特点：

. 非接触式实时测量

. 测量速度高达 1,000 次测量/秒。

. 固定式传感器安装或横向传感器安装

. 每个系统集成 1 – 99 个监控通道

. 在大气或真空中进行过程控制

. 在许多应用中可以非常靠近基板边缘进行测量

. 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定性

. 到测试材料的大距离(例如 60 毫米/2.4 英寸的间隙)

. 覆盖导电层或封装基板的表征

. 众多软件集成分析统计功能

. 通过 EddyCus RampUp 软件轻松设置，包括。系统校准向导

. 无磨损

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪产品应用：

. 建筑玻璃(LowE)

. 包装材料

. 显示器和触摸屏

. 光伏(薄膜和 c-Si)

. 镜面镀膜

. 电容器

. OLED 和 LED

. 智能玻璃

. 金属层和晶圆金属化

. 除冰和加热

. 电池和燃料电池

. 涂布纸和导电纺织品

. 石墨烯层

. 抗菌涂料;

德国SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄层电阻测量仪技术参数：

. 测量范围

薄层电阻：0.1 mOhm/sq 到 1 kOhm/sq

金属厚度：2 nm – 2 mm(取决于材料导电性)

电阻率：0.1 mOhm cm – 5 ohm cm

残留水分(通过非接触式介电常数测量在湿层中测量)

电各向异性：0.33 至 3(可根据要求提高)

相关属性

克重：0.1 至 1,000 克/平方米

发射率：0.005 至 0.2

. 设置

内联 R2R

内联 S2S

集群工具

集成到处理区域

透射和反射设置

流程

沉积(PVD、ALD、(PE)CVD、电镀、印刷、喷涂等)

烧蚀/结构化(蚀刻、抛光、激光等)

掺杂/植入

回火/退火

干燥/加热

传感器外形尺寸(所有测量类型)

传感器 S(多种选择)

传感器 S - 半真空(限真空)

传感器 M

传感器 XS

定制形式(多传感器)

接口

TCP、UDP

Modbus

CSV、XML

模拟、数字

网

环境

大气层

真空

ATEX

可应要求提供高温版本

接线设置

靠近传感器位置的控制柜安装

直接安装工具安装在传感器位置附近

全传感器集成硬件;