BD-6高精度探针台

产品简介

平台快速及微调1micron重复性的上下功能，搭配点针卡加功能可作元件Die Stepping的Die To Die应用，晶圆卡盘配置XY旋钮配置增加握感，使元件达到快速25mm/转及精细调整10micrn重复性，广受半导体厂及IC设计公司好评。

功能特点

大旋钮高精度工作台；齿隙自由移动；适用于12个探针座的安装；可安装4.5”英寸探针卡支架；平台高度可调；探针座备用区；用于方便镜头切换的显微镜仰角

应用

基础IV/CV；射频，单宽频探测；高压、大电流

配件

带温度控制器的热卡盘

防震桌

屏蔽箱

规格参数

探针台面积

760 mm 宽 x 660mm 深

探针台高度

450 mm (到压板)/700 mm (到显微镜)

探针台重量

80kg

压板材料

硬铬电镀钢

压板尺寸

250 mm内部, 450mm 外部

压板容量

12 DC 或 4 RF 4 DC

定位器安装

磁性ON/OFF开关

真空开关的数量

4

平台z轴移动范围

25 mm (精调), 6 mm (快速)

平台z向精度

1 µm

平台z向运动

齿轮和链条（精调），杠杆（快速）

卡盘材料

不锈钢

卡盘台类型

大旋钮高精度工作台

卡盘行程范围

6” x 6”

卡盘快速移动

Y型导轨快速移动，可轻松装载样品

卡盘精度

1 µm

卡盘Theta粗调行程

360˚

卡盘Theta精度

0.01˚

大旋钮卡盘移动

高精度线性探针台

卡盘大小

6” (150 mm)

卡盘平面度

3 µm

卡盘刚度

15 µm / 10 N @ 边沿

卡盘真空槽

中心，0.5”, 1.5” ,2.5”（单独控制）

卡盘偏置容量

可达到 2 kV

卡盘隔离

5 GΩ

DUT 尺寸范围

2 mm - 150 mm

显微镜滑台类型

高精度线性探针台

显微镜滑台精度

1 µm

显微镜滑台行程范围

2” x 2”

显微镜仰角（可选）

35˚

显微镜变焦范围

1x - 5x

显微镜目镜

20x

显微镜放大范围

20x-100x

探针座都提供X-Y-Z直线运动行程，无齿隙，安装选项包括磁铁、真空或磁铁开关

EB-050

精度：0.8µm

螺钉分辨率：212µm

行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-700

精度：2µm

螺钉分辨率：630µm

行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g

用途：仅DC

EB-005

精度：0.3µm

螺钉分辨率：125µm

行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

VFT-3636

尺寸：36” W x 36” D x 36” H

垂直固有频率：1.5 Hz

隔离效率：@ 5 Hz 85％

水平固有频率：1.2 Hz

隔离效率：@ 5 Hz 91％

空气需求量：80 psi

净负载：200kg

材质：钢桌面