奕叶EB-6V探针台是针对mmW研究已通过市场验证的解决方案。
产品介绍 | ||||
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产品简介 | EB-6V是针对mmW研究已通过市场验证的解决方案。 以下功能可用于此系统： | |||
功能特点 | -定制的探针座，去除扩频器和探头之间的波导 -适用于不同尺寸的扩频器和负载牵引器的牢固稳定的探针座 -配备千分表可确定探针上的接触划痕 -集成准，可直接连接探头 -南北桥，用于额外的DC和RF微调探针座 -同轴式高精度载物台 -无间隙运动 -探针座备用区 | |||
应用 | -高性能射频 -单宽频量测 -差分毫米波 -基础IV/CV | |||
配件 | 带温度控制器的热卡盘 | 防震桌 | 屏蔽箱 | |
规格参数 | 探针台面积 | 760 mm 宽 x 660mm 深 | ||
探针台高度 | 450 mm (到压板)/700 mm (到显微镜) | |||
探针台重量 | 80kg | |||
压板材料 | 硬铬电镀钢 | |||
压板尺寸 | 120 mm x 180 mm（南和北） | |||
压板容量 | 4 RF 和2 DC 或者 2 RF 和 4 DC | |||
定位器安装 | 磁性ON/OFF开关 | |||
真空开关的数量 | 4 | |||
卡盘材料 | 不锈钢 | |||
卡盘台类型 | 同轴 | |||
卡盘行程范围 | 6” x 6” | |||
卡盘精度 | 1 µm | |||
卡盘Theta粗调行程 | 360˚ | |||
卡盘Theta精度 | 0.01˚ | |||
卡盘Z向移动范围 | 4 mm | |||
卡盘Z向精度 | 1µm | |||
同轴卡盘运动 | 斜面齿轮和齿条0.8mm间距 | |||
卡盘大小 | 6” (150 mm) | |||
卡盘平面度 | 3 µm | |||
卡盘刚度 | 15 µm / 10 N @ 边沿 | |||
卡盘真空槽 | 中心，1.5”, 3.5”,7”（单独控制） | |||
卡盘偏置容量 | 可达到 2 kV | |||
卡盘隔离 | 5 GΩ | |||
DUT 尺寸范围 | 2 mm - 150 mm | |||
显微镜滑台类型 | 高精度线性探针台 | |||
显微镜滑台精度 | 1 µm | |||
显微镜滑台行程范围 | 2” x 2” | |||
显微镜Z-左（可选） | 6毫米（气动） | |||
显微镜变焦范围 | 1,4x - 9x | |||
显微镜目镜 | 30x | |||
显微镜三目端口 | C型接口，2x适配器 | |||
显微镜放大范围 | 42x-270x | |||
mmW 探针座特点 | |
| EB-KRF 线性精度：0.5 µm 角度精度：0.0005˚ 行程范围：线性50 mm X-Y，25 mm Z，角度±5˚ 尺寸： 290 mm W x 140 mm D x 130 mm H 重量：6000g 扩频器厂牌：VDI，OML，Keysight，R＆S和其他类似尺寸的扩频器 刚度：150 Kgf 螺丝类型：3/8”不锈钢螺杆 下针深度指示器：0.5 µm |
探针座选择 | |
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探针座都提供X-Y-Z直线运动行程，无齿隙，安装选项包括磁铁、真空或磁铁开关 | |
| EB-050 精度：0.8µm 螺丝精度：212µm 行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g 用途：支持DC/RF |
| EB-700 精度：2µm 螺丝精度：630µm 行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g 用途：仅DC |
| EB-005 精度：0.3µm 螺丝精度：125µm 行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g 用途：支持DC/RF |
防震桌选项 | |
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| VFT-4836 尺寸：48” W x 36” D x 36” H 垂直固有频率：1.5 Hz 隔离效率：@ 5 Hz 85％ 水平固有频率：1.2 Hz 隔离效率：@ 5 Hz 91％ 空气需求量：80 psi 净负载：200kg 材质：钢桌面 |
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