EB系列是奕叶的旗舰探针台产品线,为在DC和RF应用中提供可重复的,良好的测量奠定了坚实的基础。
产品介绍 | ||||
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产品简介 | EB系列是我们的旗舰探针台产品线,为在DC和RF应用中提供可重复的,良好的测量奠定了坚实的基础。 | |||
功能特点 | -同轴驱动的探针台(可选大旋钮滑台) -无间隙运动 -可安装12个探针座 -可安装4.5英寸探针板支架 -探针座备用区 -用于方便镜头切换的显微镜仰角 | |||
应用 | 基础IV/CV;射频,单宽频探测;高压,高电流 | |||
配件 | 带温度控制器的热卡盘 | 防震桌 | 屏蔽箱 | |
规格参数 | 探针台面积 | 580 mm 宽 x 460mm 深 | ||
探针台高度 | 450 mm (到压板)/700 mm (到显微镜) | |||
探针台重量 | 60kg | |||
平台材料 | 硬铬电镀钢 | |||
平台尺寸 | 250 mm内部, 450mm 外部 | |||
平台容量 | 12 DC 或 4 RF 4 DC | |||
探针座安装 | 磁性ON/OFF开关 | |||
真空开关的数量 | 4 | |||
卡盘材料 | 不锈钢 | |||
卡盘台类型 | 同轴(大旋钮高精度滑台) | |||
卡盘行程范围 | 6” x 6” | |||
卡盘快速移动 | 25mm/rev | |||
卡盘精度 | 1 µm | |||
卡盘旋转粗调行程 | 360˚ | |||
卡盘旋转精度 | 0.01° | |||
卡盘 Z向移动 | 4mm 范围 | |||
卡盘 Z 向精度 | 1 µm | |||
同轴卡盘运动 | 斜面齿轮和齿条0.8mm间距 | |||
大旋钮卡盘移动 | 高精度线性探针台 | |||
卡盘大小 | 6” (150 mm) | |||
卡盘平面度 | 3 µm | |||
卡盘刚度 | 15 µm / 10 N @ 边沿 | |||
卡盘真空槽 | 中心,1.5”, 3” ,5”(单独控制) | |||
卡盘偏置容量 | 可达到 2kV | |||
卡盘隔离 | 5 GΩ | |||
DUT 尺寸范围 | 2 mm - 150 mm | |||
显微镜滑台类型 | 高精度线性探针台 | |||
显微镜滑台精度 | 1 µm | |||
显微镜滑台行程范围 | 2” x 2” | |||
显微镜仰角(可选) | 35° | |||
显微镜变焦范围 | 1x - 5x | |||
显微镜目镜 | 20x | |||
显微镜放大范围 | 20x-100x | |||
探针座选择 | |
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探针座都提供X-Y-Z直线运动行程,无齿隙,安装选项包括磁铁、真空或磁铁开关 | |
EB-050 精度:0.8µm 螺丝精度:212µm 行程范围:线性12 mm X-Y-Z尺寸:52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量:550 g 用途:支持DC/RF | |
EB-700 精度:2µm 螺丝精度:630µm 行程范围:线性12 mm X-Y-Z尺寸:38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量:200 g 用途:仅DC | |
EB-005 精度:0.3µm 螺丝精度:125µm 行程范围:线性12 mm X-Y-Z尺寸:90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量:1000 g 用途:支持DC/RF |
防震台选择 | |
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| VFT-3636 尺寸:36英寸(宽)x 36英寸(深)x 36英寸(高) 垂直固有频率:1.5 Hz 隔离效率:@ 5 Hz 85% 水平固有频率:1.2 Hz 隔离效率:@ 5 Hz 91% 空气需求量:80 psi 净负载:200kg 材质:钢桌面 |
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