CG-196探针台

特性

-温度范围：77K—480K (-196℃—200℃)

-框架采用焊接以保证坚固的结构

-通过外置探针座来控制探针重新定位

-显微镜移到架桥边以方便打开真空仓

-显微镜视野可使用滑台控制移动，X-Y轴移动范围 1英寸—1英寸

-可升级到6个探针座

-同轴卡盘高低温时可达到10pA精度

-配备防震桌

-可选择高真空仓

详细规格

-卡盘直径40mm

-温度的精度为0.1度

-液氮瓶50升

-探针座X-Y-Z三轴移动范围：25mmx25mmx25mm，精度1微米

-显微镜X-Y轴移动范围：1英寸x1英寸

连续变焦：0.7X—­4.5X

目镜：20X

总放大倍数：14X—90X

150W灯源箱

双分支鹅颈管灯源

4个调平支腿

配置

电源：220V、60Hz、1500W

液氮：50升

液氮罐

规格

尺寸：1300mm长x1100mm宽x1500mm高

重量：300Kg

操作说明

温度控制 单元

当需要温度达到室温以下时，卡盘需要通过液氮来降温以达到温度低于事先设置的温度。比例积分微分控制器可以控制温度来加热卡盘中的加热组件。

液氮单元

氮气是的，蒸发后氮气加压液氮钢瓶上空间来推动液氮的流出，液氮的流量可以使用氮气的加压、液氮的进口阀和出气阀来控制。

真空仓单元

真空仓使用真空泵产生10-3 托，提供给很低的温度应用；

BNC母接头用来连接仪表的信号装置；

真空泵配备排气过滤装置，以避免污染客户的环境；

探针座单元

探针座都在真空仓外设置，这将帮助工程师在真空环境下进行量測。特别是，当温度降低的时候，晶圆开始收缩，探针已经离开需要量测的测试样品，工程师需要重新定位探针，将探针扎到测试样品上。

显微镜单元

显微镜可以通过架桥结构移动到旁边，以方便打开真空仓的盖子。显微镜可以通过真空仓上面的窗口观察，

灯光可采用无段式旋钮控制亮度，LED光纤光源可以用于探针定位及分离目标。