TS2000-DP 高功率探针台

凭借TS2000-DP，MPI提供了一个多功能且经济实惠的探针台，用于在20°C至300°C的温度范围内进行晶圆上高功率器件测量，测量能力高达3 kV（三轴）/ 10 kV（同轴）和600A（脉冲）。

产品描述

1.专为各种晶圆生产应用而设计

DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV应用

高达67 GHz的射频应用和4端口设置

高达10 kV /600 A 的高功率生产应用

从室温到300℃的IC设计验证

2. 生产可靠性

专为24/7 稳定可靠的生产测试而设计

集成被动隔振台

可选的主动隔振基座

适用于300℃的环境温度

3. 人体工学设计和选择

易于单晶圆前装载设计

大型探针台可支持12x直流或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”标准探针卡夹具

特点与优势

1. 探针卡和MicroPositioners

TS2000-DP提供高达12倍的高电压（高达3 kV三轴或10 kV同轴）或4倍多指高电流（高达400 A MicroPositioners）

许多单探针，专用探针卡夹，用于防电弧高功率探针卡，使系统成为高功率器件特性测量的理想选择

2. 反弧技术

该系统配有ArcShield™，以防止卡盘和探头台板之间发生任何可能的电弧

防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力，并且通过使用帕邢定律来防止焊盘之间的电弧放电

特别设计的防电弧LiquidTray™只需将其放置在高功率吸盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内，浸入液体中进行无电弧放电高压测试

MPI卡盘在300°C时可达10千伏（同轴）

3. 仪器一体化

TS2000-DP可配置多种仪器连接包，包括必要的高压/高电流探头和电缆附件，以便与Keysight B15005（3 kV或10 kV）等测试仪器进行连接，包括集成模块选择器或吉时利2600-PCT-XB，包括集成8020高功率接口面板.

4. 软件套件SENTIO®

MPI自动化工程探针系统由且革命性的多点触控操作控制 SENTIO软件套件—简单直观的操作节省了大量的培训时间，Scroll、Zoom，Move命令模仿现代智能移动设备，让每个人能在几分钟内成为专家

对于RF应用，无需切换到另一个软件平台-MPI RF校准软件程序QAlibria与 SENTIO集成-通过遵循单一操作概念方法易于使用