TS150 6寸手动探针台

MPI TS150是一款具有150mm手动探头系统的手动探针台，其手动探头系统是开放式的，易于使用且具有成本效益且高度准确。该系统专为高达150mm的基板和晶圆的精密分析而设计。它可以配置为支持各种应用，例如故障分析，设计验证/IC工程，晶圆级可靠性，MEMS，高功率和器件表征和建模。

二、产品描述

1. 单机多应用设计

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)

2. 工效学设计

方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计

坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定位器的工作台

三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性

3. 弹性选配与升级性

另有多种晶圆载物台可做升级，亦有诸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以支援应用需求。

三、特点与优势

1. 空气阶段

TS150 的空气轴承平台设计，简单的单手圆盘控制，提供的操作便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时不会影响精确和精确的定位能力，并具有额外精细和精确的25x25mm XY-Theta千分尺机芯。

2. 带探针悬停控制™的压板提升

测量精度首先取决于接触质量！高度可重复（1μm）的压板提升设计具有三个离散位置，用于接触，分离（300μm）和装载（3 mm），带有安全锁实用程序，这些都是MPI手动探头系统中的功能的例子。这些功能可防止意外探头或晶圆损坏，同时提供直观的控制和准确的接触定位 这种能力在高频和高功率应用中尤为重要，以实现最准确的测量结果。

对于TS200和TS300，额外的Probe Hover Control™具有悬停高度（50,100或150μm），可轻松方便地探测垫对齐。

3. 高度调整量表

探头压板具有25 mm的精细高度调节，以支持各种应用。的1mm精确刻度可直接反馈当前位置。

4. 紧凑和刚性压板设计

紧凑而坚固的压板设计可容纳多达十个DC或四个RF MicroPositioner，可满足各种应用要求。

5. 各种夹头选项

手动系统提供各种卡盘选项，以满足不同的预算和应用要求。卡盘选择包括MPI的同轴或三轴夹头 或各种ERS 热卡盘 小号支持温度测量高达300℃ -如实施例用于快速和方便的访问和操作的热触摸控制器的无缝集成。

6. 辅助卡盘

RF卡盘包括两个内置陶瓷材料的辅助卡盘，用于精确的RF校准。

7. 各种光学和运动选择

提供多种光学元件 和机芯 ，可选择用于常见DC / CV应用的立体声或用于RF配置的单管MPI SZ10或MZ12。甚至高功率光学器件，如Mitutoyo FS70或Motic PSM-1000也可用于故障分析应用。

8. 光学倾斜

作为标准特征或甚至是气动驱动的90度倾斜，线性Z升降机提供非常方便的设置和易于更换的探头。

9. 隔振平台

所有手动系统均包含振动吸收底座，可实现稳定可靠的长期探头与焊盘接触，确保可靠的测量结果。在实验室环境需要大量振动保护的情况下，可选配隔振平台或工作台。

10. DarkBox

可用的DarkBox选件提供EMI屏蔽和不透光的测试环境，可用于超低噪声DC测量。

四、功能参数

1. 规格

2. 探针压板

3. 非热卡盘