nGauge便携式原子力显微镜

nGauge原子力显微镜作为一台单芯片（Single-Chip）AFM，是加拿大滑铁卢大学(DARPA联合项目)近十年的研发成果。Single-Chip技术通过CMOSMEMS工艺将AFM的所有组件（精细XYZ运动和纳米级感测）集成到单个1mm x 1 mm的芯片上，减少了对大功率及垂直检测激光对准设备的需求，极大提升了设备自身的抗震性能、扫描速率、扫描精度，实现经济、高效、便捷的原子力扫描。

可以用于纳米级三维结构的量测，表面粗糙度的检测，膜厚、台阶测试，相位测试等。

• 南京大学
• 同济大学
• 中科院微电子研究所
• 合肥物质研究院
• 复旦大学
• 东华大学
• 天津大学

相关文献

1. N. Sarkar and R. Mansour, “CMOS-MEMS atomic force microscope,” Transducers 2015
2. D. Strathearn, G. Lee, N. Sarkar, M. Olfat and R. R. Mansour, "A distortion-free single- chip atomic force microscope with 2DOF isothermal scanning," 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), Anchorage, AK, 2015, pp. 2113- 2116.
3. N. Sarkar, D. Strathearn, G. Lee, M. Olfat, and R. R. Mansour, “A 0.25MM3 ATOMIC FORCE MICROSCOPE ON-A-CHIP,” MEMS 2015, pp. 732–735, 2015.