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SKCC-YCB-X高真空磁控溅射永磁靶头

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产品简介:SKCC-YCB-X高真空磁控溅射永磁靶头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用

 

产品型号

SKCC-YCB-X(高真空磁控溅射永磁靶头)

产品规格

2寸,SKCC-YCB-2

3寸,SKCC-YCB-3

4寸,SKCC-YCB-4

5寸,SKCC-YCB-5

6寸,SKCC-YCB-6

7寸,SKCC-YCB-7

主要特点

1、采用高质量的不锈钢和永磁材料制作。

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3的磁性材料冷却装置结构设计避免冷却水腐蚀磁性材料,延长其使用寿命。

4、标准的HN型接头,可与DCRF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头,便于操作。

6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC2、射频RF

备注

如需要折靶则:

2寸折靶,SKCC-YCB-2-Z

3寸折靶,SKCC-YCB-3-Z

4寸折靶,SKCC-YCB-4-Z


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