最小运动增量50nm
 | (1) 最小运动增量50nm (2) 无铁芯直线电机，反应灵敏，满负载加速度可达2000mm/s2 (3) ，适用于高精密环境 |
| 产品型号 | FMS115Z-150H |
| 行程（mm) | 150 |
| 负载(Kg） | 10 |
| 分辨率（um) | 0.01 |
| 最小运动增量(um)【1】 | 0.05 |
| 单向重复定位精度/保证值*(um) | ±0.1 |
| 单向重复定位精度/典型值*(um) | |
| 双向重复定位精度/保证值*(um) | ±0.3 |
| 双向重复定位精度/典型值*(um) | |
| 准确度/保证值*(um) | ±1 |
| 准确度【2】/典型值*(um) | |
| 速度（mm/s) | 50 |
| 直线度(um) | 2 |
| 平整度(um) | 2 |
| Yaw-偏摆(")【3】 | 5 |
| Pitch俯仰（"） | 5 |
| 持续推力（N) | 20 |
| 峰值推力（N） | 72 |
| 外形尺寸(mm) | 320X115X50 |
| 台面尺寸（mm) | 115X115 |
| [1]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。 [2]：准确度和重复定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的区分这两个概念。 [3]：只有直线度、平行度、Pitch、Yaw等参数都达到高水准要求，运动系统的准确度、重复定位精度才能达到高精度水平。也就是说，客户一般只需要考虑准确度与重复定位精度是否满足应用需求就可以选择到满意的位移平台。当客户对平台运动有更高要求时，非轴向参数是需要考虑的。 *：典型值和保证值的区别见技术指南 | |
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