大承载
 | (1) 大承载 (2) 行程可选100-300mm (3) 性价比高 |
| 产品型号 | FMS120-100 | FMS120-200 | FMS120-300 |
| 行程（mm) | 50 | 50 | 50 |
| 负载(Kg） | 20 | 20 | 20 |
| 分辨率（um) | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
| 最小运动增量(um)【1】 | 4 | 4 | 4 |
| 单向重复定位精度/保证值*(um) | ±4 | ±5 | ±5 |
| 单向重复定位精度/典型值*(um) | |||
| 双向重复定位精度/保证值*(um) | ±8 | ±10 | ±10 |
| 双向重复定位精度/典型值*(um) | |||
| 准确度/保证值*(um) | ±15 | ±20 | ±20 |
| 准确度【2】/典型值*(um) | |||
| 速度（mm/s) | 40 | 40 | 40 |
| 直线度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 平整度(um) | 15 | 15 | 15 |
| Yaw-偏摆(")【3】 | 30 | 30 | 30 |
| Pitch俯仰（"） | 30 | 30 | 30 |
| 持续推力（N) | / | / | / |
| 峰值推力（N） | / | / | / |
| 外形尺寸(mm) | 360x120x56 | 460x120x56 | 560x120x56 |
| 台面尺寸（mm) | 120x120 | 120x120 | 120x120 |
| [1]：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。 [2]：准确度和重复定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的区分这两个概念。 [3]：只有直线度、平行度、Pitch、Yaw等参数都达到高水准要求，运动系统的准确度、重复定位精度才能达到高精度水平。也就是说，客户一般只需要考虑准确度与重复定位精度是否满足应用需求就可以选择到满意的位移平台。当客户对平台运动有更高要求时，非轴向参数是需要考虑的。 *：典型值和保证值的区别见技术指南 | |||
产品特性：
  | 步进电机的特征是采用开回路控制（Open-loop control）处理，不需要运转量传感器（sensor）或编码器，且切换电流触发器的是脈沖信号，不需要位置检出和速度检出的回授装置，所以步进电机可正确地依比例随脈沖信号而转动，因此达成精确的位置和速度控制，且稳定性佳。 |
| 德国的G1等级导轨 |  |
  | 的机械加工要求，保证Pitch、Yaw等基本参数的稳定 |
| 标准接口 像搭积木一样搭建运动控制系统 |  |
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