微振动测量激光干涉仪（型M900，德国JENAer公司生产，*）

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公司名称 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
品牌
型号
所在地 上海市
厂商性质 代理商
更新时间 2016/1/12 11:00:00
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模内浇口分离自动化，降低对人的依赖度；传统的塑胶模具开模后产品与浇口相连，需二道工序进行人工剪切分离，模内热切模具将浇口分离提前至开模前，消除后续工序，有利于生产自动化，降低对人的依赖。

产品简介

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ZLM900微测量检测激光干涉仪由德国JENAer耶拿尔公司生产，为三轴外差式双频激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量，主要用于运动平台等微位移的测量和检测，角度变化量的监测等。

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激光干涉仪ZLM 900-3D	PXI数据处理器激光干涉仪ZLM900-3D	光学镜头ZLM 900-3D

世界范围内，同类产品中效率zui高的干涉仪。

三轴外差式微振动检测激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量

高灵活性调整模块，适用于所有数控机床的参数的测量

动态测量zui大速度4m/s，实时显示三个轴的测量数据

小型反射镜，带有磁性固定装置

适用于笔记本电脑、PCI和PXI中线，与网络兼容

位移测量标准分辨率为1nm，角度测量分辨率为0.01"

使用高精度温度传感器，系统精度可达50nm/m

可拓展为6轴测量

外部触发zui大频率为40MHz快速调整也适用于3D

所有3轴实时数据测量，无延时

zui多可扩展到6轴

小型反射镜

外部zui大触发频率40MHz

JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪，是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪，不仅能够精确的测量数控机床的几何量，如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等，还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。

上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统，光束由激光头发出后进入干涉镜，3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分：

信号光束1用于位移的测量，信号光束2用于俯仰角的测量，信号光束三用于偏摆角的测量。

所有的光束照射到被测物体（3-轴反射镜固定在被测物体上）后再次反射到干涉镜上，每个信号光束与反射的光束进行干涉，然后干涉光束传输到激光头里，进行信号分析后进入到软件里。


三轴测量软件（位移、偏摆和俯仰角）	三角关系的设定

测量结果的统计	在位置5开始测量

位移和角度的*测量	ISO230数据统计标准