激光干涉仪

激光干涉仪是由激光头、传感器、气象站、笔记本电脑和连接整个系统的电缆组成。全套系统重量仅为15千克，可以装入一个小型工具箱内。

XD激光干涉仪

• 适用于检测数控机床、坐标测量机等设备
• 一次安装可同时测得6个参数
• 节省80%的工作时间，大幅提升工作效率
• 可用于测量线性精度、直线度、滚动角、、偏摆角、俯仰角、重复性、速度、加速度、对角线、垂直度、平行度、平面度等。
• 快速安装调试、实时数据显示
• 高集成设计缔造*的便携性

XD激光干涉仪是激光测量技术的一个巨大飞跃，它在操作简单性和测量准确性上有了很大提高。实现一次安装同时测得6个参数（包括1个位置度误差、2个直线度误差和3个角度误差），使得以往需进行数日的测量可在几个小时内完成，使您检验机床的工作变得简单、快捷。

全套系统仅重15千克，可以装入一个小型工具箱内。由于采用了紧凑型设计，XD激光干涉仪体积小，测量机床时无需使用三脚架，使测量基准与机床的加工基准保持*，简化了测量程序（免拆机床护罩）。集干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间，提高了机床使用效率。

XD系统使用功能强大的软件包，运行于Windows平台上，提供了完整的交互式测量程序。支持各种数据分析标准（ANSI、ISO、JIS、GB、VDI），可以进行多次测量结果的比较。

除了测量6个参数外，XD系统还可以测量机器运动空间四条对角线的精度，这一测量值直接反映了机器在整个工作区域空间的精度和重复性误差。另外，还可以实现导轨平行度的测量，这一特征也是XD激光干涉仪*的。

规格：

1.标准型：

线性测量范围：45米（可选80米）

线性精度：0.5ppm

直线度精度：（1.0+0.2/米）微米或1%显示值

角度精度：（1.0+0.1/米）角秒或1%显示值

2.精密型：

线性测量范围：40米

线性精度：0.2ppm

直线度精度：（0.5+0.1/米）微米或1%显示值

角度精度：（0.5+0.05/米）角秒或1%显示值