主要规格-
| 碳化钨的车削性能 | 表面粗糙度： < 5 nm Sa 形状精度： < 0.15 µm P-Vd> |
| 编程分辨率 | 0.01 nm线性 0.0000001° 旋转 |
| 极限载荷 | 136千克（300磅）@ 100磅/平方英寸 |
| 标准摆动能力 | 250 mm直径 |
技术规格-
| 机床底座和控制 | 描述 | |
| 机床底座 | 密封的天然花岗岩底座可为机床提供长久的稳定性 | |
| 机床类型 | 超精密两轴、三轴或四轴CNC仿形机床 | |
| 隔振 | FEA优化的双子框架和集成自调平TMC MaxDamp®隔振器（可选配PEPS® II-VX主动消振） | |
| 控制系统 | 采用可选自适应控制技术的UPx™控制系统 | |
| 操作系统 | QNX实时操作系统 | |
| 编程分辨率 | 0.01 nm线性 / 0.0000001° 旋转 | |
| 文件传输/存储 | USB、CD、Ethernet、机载数据存储备份装置 | |
| 车削性能 | 表面粗糙度 < 5.0 nm Sa, Form Accuracy < 0 .15 µm P-V, 在10毫米直径、15毫米凸球、碳化钨测试部件上测量 | |
| 线性静压导轨 | 描述 | |
| 类型 | 具有对称直线电机安装和液体冷却的轴承导轨 | |
| 行程 | X和Z：220 mm (8.6英寸) | |
| 进给率 | 4,500毫米/分钟（177英寸/分钟） | |
| 驱动系统 | 直线电机 | |
| 位置反馈分辨率 | 8 pm (0.008 nm) | |
| X轴直线度 | 水平（关键方向）：0.2 µm (8.0 µ英寸) 整个行程 0.05 µm/25 mm (2.0 µ英寸) | |
| Z轴直线度 | 水平（关键方向）：0.2 µm (8.0微英寸) 整个行程 0.05 µm/25 mm (2.0 µ英寸) | |
| 垂直直线度 | 整个行程 0.375 µm（15 µ英寸） | |
| 静压供油系统 | Hydro-7智能伺服控制、低脉动泵、可选的热控制 | |
| 工件夹持/定位主轴 | 高速HS 75主轴 | 高性能HS 150主轴 |
| 空气轴承类型 | 槽式止推轴承 | 槽式止推轴承 |
| 材料 | 钢轴/铜轴套 | 钢轴/铜轴套 |
| 电机 | 集成的无刷电机 | 集成的无刷电机 |
| 极限载荷 | 45千克（100磅）@ 100磅/平方英寸 | 136千克（300磅）@100磅/平方英寸 204千克（450磅）@ 150磅/平方英寸 |
| 轴向刚度 | 105 N/µm (600,000磅/英寸) | 230 N/µm (1,314,000磅/英寸) |
| 径向刚度 | 35 N/µm (200,000磅/英寸) | 130 N/µm (743,600磅/英寸) |
| 运动精度 | 轴向/径向≤ 20 nm（0.8 µ英寸） | 轴向/径向≤ 15 nm（0.6 µ英寸） |
| 热控制选项 | 液冷式冷水机组 +/- 0.1°C精度 | 液冷式冷水机组 +/- 0.1°C精度 |
| C轴反馈分辨率 | 0.018弧秒 9,000线编码器 | 0.010弧秒 16,200线编码器 |
| C轴定位精度 | +/- 1弧秒 | +/- 1弧秒 |
| C轴转速 | 4,000 RPM | 2,000 RPM 9,000线编码器为4,000 RPM |
| 工件夹持主轴转速 | 18,000 RPM | 10,000 RPM |
| 设施要求 | ||
| 电源 | 208或230 VAC - 3.0 KVA 1相 - 50/60Hz用于DT机床 115或230 VAC - 1.5 KVA 1相 50/60 Hz用于µ-LAM系统 | |
| 气源 | 典型：12 SCFM @ 100 PSIG | |
| 机器占地面积（宽x长x高） | 929 x 2152 x 1790毫米 (36.6 x 84.8 x 70.5英寸) | |
