探针台| 硅光自动探针台TS3000-SiPH

•  高精度光纤对准系统，在双定位器或单定位器设置中为单个或光纤阵列提供*的灵活性

• 通过将晶圆包括在光纤接近检测和光纤防撞中，实现的操作

• *的器件测试温度为-40 ... 100°C; 系统性能-60 ... 300°C

• 通过在测量架中集成额外的硅光子仪器，*限度地减少系统占用空间

 灵活的可扩展性：

• MPI IceFreeEnvironment™，即使在负温度下，也可同时使用MicroPositi和探针卡

• 可编程显微镜移动更自动化和容易使用。

• IC测试仪的*短电缆接口

• *小化mmW的压板到卡盘距离

• 并使用有源探头进行探测，

• 支持电帧探测

 人体工程学设计：

• 从正面轻松装载晶圆或单个DUT

• 集成主动隔振

• *集成的探针控制，更快，更安全方便的系统和测试操作

• 安全测试管理（STM™），具有自动露点控制功能

• 由于智能冷却器空间布置，减少了占地面积

• 仪器架选项，适用于较短的电缆和更高的测量动态