专为射频生产测试而设计的全自动探针台TS2500-RF

TS2500-RF射频测试探针台

于射频（RF）生产测试的全自动探针系统。该系统与所有MPI系统附件兼容，专为满足生产级高级RF 设备测试的需求而设计。

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用：

• 射频量测 - 至高 67 GHz & 4 埠
• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测
量产可靠性
• 专为 24 / 7 稳定可靠的量产测试而设计

工效学设计及弹性选配：

• 简易便利的前门单晶圆上片设计
• 大面积工作台设计，可乘载至多 12x DC 或
4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡
夹具
• 双晶圆拾取器和内建的晶圆预对准功能，
有效提升产出
• 另有多种晶圆载物台和配件可做选择
• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
• 另有向上影像镜头可选配，协助探针 - 待测
物对准
• 可选配薄晶圆处理选项