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膜厚测量仪

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膜厚测量仪

通过薄膜表面与基底材料反射光的干涉现象,可快速可靠地测量半透明及透明膜的厚度。非接触式测量,不会破坏测试样品。

NanoCalc测试系统主要包括:宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、样品测试台及测量分析软件。NanoCalc膜厚测量仪适合于在线膜厚测量,包括氧化层、氮化硅薄膜,感光胶片及其它类型的薄膜,NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷等物质上的抗反射涂层、抗膜涂层。

NanoCalc膜厚仪基本性能:

基本型号:NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR

光谱范围:250~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)
膜厚分辨率:0.1nm
测量时间:100ms~1s
多达10层膜厚测量
快速响应:在线测量
基底材料:钢///陶瓷/塑料等
新型号:NanoCalc-MIK中整合摄影机
材料库: 400种材料的nk值且可添加
应用场合:氧化物/SiNx/感光保护膜/半导体膜


NanoCalc膜厚仪应用软件
膜厚测量/n&k值测量
用户自定义材料层结构
自动调整积分时间
层材料信息分层显示

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