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3D激光光刻机 nSCULPTOR

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3D激光光刻机 nSCULPTOR

nSCULPTOR是用于纳米结构加工的3D激光光刻系统,基于多光子聚合(mPP)技术,适用于市场上常见光阻材料。可以加工和生产纳米精度和分辨率的三维结构。系统将整个加工过程整合到一起,包括3D模型的创建和制备,激光直写,后期处理。

产品特点:

· 一体化解决方案

· 100nm-10um分辨率

· 复杂3D物体

· 不同的聚合物

· 占地面积小

产品应用:

· 纳米光子器件(3D光子晶体)

· 微流控

· 微光学器件(透镜,光纤结构)

· 微型机械

· 微型光机电系统(MOEMS

· 生物医学


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