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| 美國 Veeco 全自动原子层沉积(ALD)系统 |
| Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验 2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah，之后生产出Plasma ALD – Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD – Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，已安装五百多台ALD设备。 |
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