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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000

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SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多性能。SU7000是一台实现了信息获取量大化的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。接下来请欣赏SU7000带来的多*。*左图为包含选配项的SU7000示意图

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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000

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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000

SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多性能。

SU7000是一台实现了信息获取量大化的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。

接下来请欣赏SU7000带来的多*。

*
左图为包含选配项的SU7000示意图

  • 特点

  • 规格

  • 安装布局

特点

核心理念

  1. 采用优异的成像技术
    SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检的样品。大开仓设计,标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴大移动距离为135×100 mm,重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台*不成问题。

    相机导航功能(*)

    通过相机拍摄样品

          将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航

    SU7000可选配导航相机(*),迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内,插入样品后,可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面(SEM MAP)窗口,因此,用户可以观察窗口中的图像判断位置。大适用尺寸为φ 100 mm。

    (*)
    可选配相机。

    支持动态观察的检测系统

    SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时,可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器(**)

    低真空环境的探测器选择
    左图为通过MD(背散射电子),右图为通过UVD(二次电子)探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。

    PD-BSED:响应速度提高
    左图是以一般的响应速度,约每两秒扫描一次得到的图像;右图抑制了图像的漂移,使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高,更适用于In-Situ观察。

    (**)
    可选配PD-BSED、UVD。

规格

项目内容
图像分辨率二次电子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
电子枪发射体ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)
加速电压0.1~30 kV (步进:0.01 kV)
束流大200 nA
探测器标准探测器UD (上探测器)
MD (中探测器)
LD (下探测器)
选配探测器*1PD-BSED (半导体式背散射电子探测器)
UVD(高灵敏度低真空探测器 )
低真空模式*1样品仓压力范围5~300 Pa
可使用探测器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
马达台马达台控制5轴马达驱动
移动范围X0~135 mm
Y0~100 mm
Z(WD)1.5~40 mm
T(倾斜角)-5~70°
R(旋转角)360°
样品尺寸大直径:φ200 mm, 大高度:80 mm
显示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持双屏
图像显示模式全屏显示模式1,280×960像素显示
单屏显示模式800×600像素显示
双屏显示模式800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2
四屏显示模式640×480像素显示
六屏显示模式*2640×480像素显示 *2
图像数据保存保存图像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
选配附件能谱仪(EDX)
X射线波谱仪(WDX)
电子背散射衍射(EBSD)
阴极荧光探测器(CL)
冷冻传输系统
各种功能样品台
*1
为选配项。
*2
支持双屏显示。

安装布局

关联产品分类

  • 聚焦离子束系统 (FIB/FIB-SEM)
  • TEM/SEM样品前处理装置


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