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功能
规格
| 类型 | Guardian EIES Controller | |
|---|---|---|
| 传感器 | ||
| 工作压力 | <>-4 Torr | |
| 温度 | 450° C maximum during operation and/or bakeout | |
| 尺寸（近似） | 0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm) | |
| 丝极寿命（典型值） | ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria | |
| 传感器馈入件连杆 | Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm) | |
| 馈入件 / 法兰 | One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF) | |
| 检测器 | ||
| 光电倍增管 (PMT) | Hamamatsu R7518 or equivalent | |
| 光谱响应 | 185 to 730 nm | |
| 检测限值 | Better than 5 fW of optical input power | |
| PMT 增益 | 103 to 107 (detectors are independently adjustable) | |
| 输出分辨率 | 20-bit | |
| 光入射口 | Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick | |
| 尺寸 | 2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available) | |
| 控制器 | ||
| 传感器 | 016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in. 016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in. | |
| 检测器 | Eight optical detector channels | |
| 控制输出 | Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable | |
| 数字 I/O | 12 relay outputs and 12 logic inputs | |
| 功率 | 100-240 VAC, 50/60Hz, 150W | |
| 尺寸 | 19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm) | |
| 合规性 | CE | |
| 用户界面软件： | Windows®-based setup program included with Controller | |
| 软件显示沉积速率： | 4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 Å/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales. | |
| 软件显示厚度： | 4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 KÅ | |
| 用户自备计算机： | Any PC with Windows® Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface | |
零件号
| Guardian EIES Controller | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 782-900-031 | 用于单传感器（标准或气体补偿）的 Guardian 控制器 |
| 782-900-050 | 用于双传感器（标准或气体补偿）的 Guardian 控制器 |
附件
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| EIES Sensors | |
| 016-600-G22 | Guardian 标准单传感器和馈入件组件，22 in. (539 mm)，CF40 法兰 |
| 016-601-G22 | Guardian 气体补偿传感器和馈入件组件，22 in. (539 mm)，CF40 法兰 |
| Beam Splitters | 光纤分束器可分割传感器发出的光束以便于每个 EIES 传感器测量多种材料。 |
| 782-900-034 | Guardian 光纤分束器 (1:3) - 400 mm 长 |
| 782-900-034-x-yyy | Guardian 光纤分束器 (1:x) - yyy mm 长 |
| Filament Cables | 将 EIES 传感器连接到 Guardian 控制器 |
| 600-1406-P10 | Guardian 单丝电缆，10 ft. (3 m) – 用于标准 EIES 传感器 |
| 600-1406-P40 | Guardian 单丝电缆，40 ft. (12 m) – 用于标准 EIES 传感器 |
| 600-1407-P10 | Guardian 双丝电缆，10 ft. (3m) – 用于气体补偿 EIES 传感器 |
| 600-1407-P40 | Guardian 双丝电缆，40 ft. (12 m) – 用于气体补偿 EIES 传感器 |
| PMT Detector | |
| 782-900-030 | Guardian PMT 检测器 |
| PMT Detector Cables | 将 PMT 检测器连接到 Guardian 控制器 |
| 782-505-065 | Guardian 检测器电缆，10 ft. (3 m) |
| 782-505-065-40 | Guardian 检测器电缆，40 ft. (12 m) |
| Optical Filters | 选择适合您材料的波长 |
| 782-900-035-202 | 光纤 - 202nm，BP10nm (Zn) |
| 782-900-035-241 | 光纤 - 241nm，BP10nm（Co、Au） |
| 782-900-035-252 | 光纤 - 252nm，BP10nm (Si) |
| 782-900-035-265 | 光纤 - 265nm，BP10nm（Ge、Pt、Ta、Ir） |
| 782-900-035-267 | Optical Filter, 267 nm, Guardian |
| 782-900-035-294 | 光纤 294nm，BP2nm (Hf)（Ga [使用气体补偿传感器时]） |
| 782-900-035-304 | 光纤 304nm，BP2nm（Ba、In [使用气体补偿传感器时]） |
| 782-900-035-325 | 光纤 - 325nm，BP10nm（Cu、Cd） |
| 782-900-035-358 | 光纤 - 358nm，BP10nm（Nb、U、Cr） |
| 782-900-035-364 | 光纤 - 364nm，BP10nm（Ti、Pb） |
| 782-900-035-396 | 光纤 - 396nm，BP10nm (Al) |
| 782-900-035-417 | 光纤 - 417nm，BP2nm (Ga) |
| 782-900-035-451 | 光纤 - 451nm，BP5nm (In) |
| 782-900-070 | Guardian 单色仪套件 |
备件
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| 016-201-G1 | Emitter Assembly, EIES Sensor |
| 782-900-038 | Guardian 光电倍增管更换 |
| 016-509-G22 | In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor |
| 782-530-015 | Guardian 传感器丝极更换（用于中断的 782-900-029 和 -052 传感器） |
手册
手册
目录
三维步骤文件
其他文件
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