主体采用不锈钢加工而成
 | -主体采用不锈钢加工而成 -采用真空步进电机，适用于10-3Pa真空环境 -高精密性交叉滚子轴承，运动输死平滑，承载大 -步进/伺服电机和滚珠螺杆通过高品质弹性联轴器连接，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小 -标配RS232接口，MSC系列运动控制器可对其实现自动化控制 -底座有标准孔距的通孔，方便安装固定 -可根据客户要求定制 |
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| 产品型号 | FMSR100 | FMSR100V |
| 外形尺寸 | 217.5X116x45.5 | 210x116x45.5 |
| 台面尺寸（mm) | Ø100 | Ø100 |
| 电机 | 鸣志42步进 | 真空42步进 |
| 持续扭矩（N.M) | \ | \ |
| 峰值扭矩（N.M） | \ | \ |
| 行程（°） | 360 | 360 |
| 大速度（°/s) | 20 | 20 |
| 垂直负载(Kg） | 10 | 10 |
| 分辨率（°） | 0.0025 | 0.0025 |
| 小位移量(°) | 0.005 | 0.005 |
| 单向重复定位精度(°) | ±0.005 | ±0.005 |
| 双向重复定位精度(°) | ±0.01 | ±0.01 |
| 定位精度(°) | ±0.02 | ±0.02 |
| 端跳(um) | 25 | 25 |
| 径跳(um) | 25 | 25 |
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