光栅尺闭环，大承载，高精度
 | (1) 光栅尺闭环，大承载，高精度 |
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| 产品分类 | 步进升降台 | 步进升降台 |
| 产品型号 | FMSZ115-30 | FMSZ85-20 |
| 外形尺寸 | 115x115x140 | 85x85x85 |
| 台面尺寸（mm) | 115x115 | 85x85 |
| 光栅尺 | \ | \ |
| 行程（mm) | 30 | 20 |
| 大速度（mm/s) | 5 | 10 |
| 负载(Kg） | 5 | 1 |
| 分辨率（um) | 0.625 | 0.625 |
| 小位移量(um) | 2 | 2 |
| 单向重复定位精度(um) | ±1 | ±1 |
| 双向重复定位精度(um) | ±2.5 | ±2.5 |
| 定位精度(um) | ±10 | ±10 |
| 直线度(um) | 10 | 10 |
| 平行度(um) | 10 | 10 |
| 偏摆(") | 20 | 20 |
| 俯仰（“） | 20 | 20 |
详细规格参数
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