超高精度垂直升降台
 | 超高精度垂直升降台 |
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| 产品分类 | 压电电机升降台 | 压电电机升降台 |
| 产品型号 | FMSZ115P-50 | FMSZ85P-20 |
| 外形尺寸 | 115x115x110 | 85x85x85 |
| 台面尺寸（mm) | 115x115 | 85x85 |
| 持续推力（N) | 40 | 20 |
| 峰值推力（N） | 40 | 20 |
| 行程（mm) | 50 | 20 |
| 大速度（mm/s) | 5 | 5 |
| 负载(Kg） | 2 | 1 |
| 分辨率（um) | 0.1 | 0.1 |
| 小位移量(um) | 0.2 | 0.2 |
| 单向重复定位精度(um) | ±0.5 | ±0.5 |
| 双向重复定位精度(um) | ±1 | ±1 |
| 定位精度(um) | ±2 | ±2 |
| 直线度(um) | 5 | 5 |
| 平行度(um) | 5 | 5 |
| 偏摆(") | 10 | 10 |
| 俯仰（“） | 10 | 10 |
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