全台面设计，结构紧凑
 | (1) 全台面设计，结构紧凑 (2) 大承载 |
| 产品型号 | FMSS140C-50 |
| 行程（mm) | 50 |
| 负载(Kg） | 10 |
| 分辨率（um) | 0.1 |
| 小运动增量(um)【1】 | 0.3 |
| 单向重复定位精度/保证值*(um) | ±0.5 |
| 单向重复定位精度/典型值*(um) | |
| 双向重复定位精度/保证值*(um) | ±1 |
| 双向重复定位精度/典型值*(um) | |
| 准确度/保证值*(um) | ±2 |
| 准确度【2】/典型值*(um) | |
| 大速度（mm/s) | 200 |
| 直线度(um) | 5 |
| 平整度(um) | 5 |
| Yaw-偏摆(")【3】 | 10 |
| Pitch俯仰（"） | 10 |
| 持续推力（N) | 17.6 |
| 峰值推力（N） | 88 |
| 外形尺寸(mm) | 200x140x40.5 |
| 台面尺寸（mm) | 200x140 |
| [1]：小运动增量不等同于分辨率，小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的小量。一般来说，系统分辨率远小于小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其小运动增量更加接近于分辨率。 [2]：准确度和重复定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的区分这两个概念。 [3]：只有直线度、平行度、Pitch、Yaw等参数都达到高水准要求，运动系统的准确度、重复定位精度才能达到高精度水平。也就是说，客户一般只需要考虑准确度与重复定位精度是否满足应用需求就可以选择到满意的位移平台。当客户对平台运动有更高要求时，非轴向参数是需要考虑的。 *：典型值和保证值的区别见技术指南 | |
 | 随着科研工业对高速高精度定位需求与日俱增，直线电机技术越来越成熟，已经逐步取代步进伺服电机从而进入到电子，机床，科研，自动化、检测，扫描等各行业；直线电机的出现，直接消除了以往需要丝杠把电机旋转运动变为直线运动方式，从而避免了复杂的机械机构，大量减少了影响位移台精度的器件数量，然尔直线电机驱控方式决定了，用直线电机做高精度位移台对导向机构： |
| 德国的G1等级导轨 |  |
 | 高精度光栅尺作为闭环控制编码器 |
| 标准接口 像搭积木一样搭建运动控制系统 |  |
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