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返回产品中心>Agilent 7500 ICP-MS电感耦合等离子体质谱－ICP-MS，是一种新型的无机元素和同位素分析技术，可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS技术在分析能力上，超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技术(CVAAS)的总和，被称为当代分析技术激动人心的发展。近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。
可快速同时检测周期表上几乎所有元素
低的检出限（低至ppq级）
分析效益/成本比
宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
谱线、干扰小，准确度和精密度好
需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分钟/样品）
检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：
固体：Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等
液体：超纯水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体：SiH4;TE0S;NF3;N2等
1、带内置自动进样器的7500ce ICP-MS主机；
2、真空泵；
3、循环制冷机；
4、计算机和软件。
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