SP-010 溅射模块

产品描述：采用统一的电气和气体接口，与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。

       尽管用于CCU-010 LV和CCU-010 HV紧凑式镀膜机的SP-010溅射头的形状小巧，它仍然具备在真空中进行高质量溅射镀膜所需的特性。
       此模块把磁控管、靶材、挡板、工艺压力调节器和电源器件*整合到一个装置中，装置准备就绪，随时可以运行，并且便于维护。
       通过接口供电、供气和传送信号，只需一项手动操作，就可以把系统设置成溅射装置。

亮点：
·  以电子方式控制工艺真空度，容器内压力稳定。
·  设有环形气孔，工作气体分布均匀。
·  对碎片进行探测和监控，操作。
·  具备靶材冷却功能，带有温度监测，运行顺畅。
·  采用统一的电气和气体接口，与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。