MPI TS2000是世界范围内成熟的探针系统的自然演变,其设计满足*半导体测试市场的要求。该系统与所有MPI系统附件*兼容,主要用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件测试的特殊要求。
产品描述
TS2000可用于环境温度和/或仅热温度操作模式,速度快达10 Dies /秒(取决于终配置),这使其成为离散RF设备上预生产电气测试的理想选择,例如:
1. 适用于多种量产型晶圆量测应用
2. 量产可靠性
专为24/7 稳定可靠的量产测试而设计
内建被动式防震桌
可另选配避震基座
适用于室温至300 °C量测
3. 工效学设计及弹性选配
简易便利的前门单晶圆上片设计
大面积工作台设计,可乘载至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”标准探针卡夹具
另有多种晶圆载物台、4.5“探针卡夹具可做选择,亦有诸多配件如 DC/RF 微定位器、光学显微镜等可搭载,以*支援您的应用需求
特点与优势
1. 广泛使用大探针压板
TS2000系列提供大型,易于接近的探头压板,可容纳多达12x DC或4x RF MicroPositioners
负载牵引调谐器或更大面积的MicroPositioners 的集成使TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择
2. 易于晶圆装载
大型前门通道可轻松装载/卸载100,150,200mm晶圆,晶圆碎片或甚至小于5*5mm IC
AUX卡盘位于前面,可以方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于RF校准和探针卡清洁的简单自动化方法
3. 集成硬件控制面板
智能硬件控制面板*集成到探头系统中,基于数十年的经验和客户交互设计,提供更快,更安全,更方便的系控制和测试操作
如有必要,键盘和鼠标的位置可以控制软件,还可以控制基于Windows的仪器。
用于晶圆和AUX卡盘的真空控制面板位于右前侧,便于在装载/卸载过程中进行操作。
4. 热卡盘集成
热卡盘 (从20℃ 或环境温度到300℃) 可以使用*集成的触摸屏显示器进行操作, 放置在操作员面前的方便位置, 以便快速操作和立即反馈。
5. P探针卡和微型定位器-同时进行
许多单探头,用于4.5”×11” 探针卡的薄型探针卡固定器, 以及较低的板与卡盘距离, 是使用有源探头同时探测的理想选择, 使该系统成为设计验证和成故障分析工作的理想选择。
6. 集成 DarkBox
TS2000D就是已集成 Dark Box的TS2000!
该系统专为占地面积, 嵌入式互锁, LED照明和各种测量仪器的标准化接口面板而设计, 是光和激光安全保护测试环境的。
从后面板轻松访问, 可以快速, 方便地重新配置或初始设置
7. 仪器集成
可选的仪器架减少了电缆长度, 提高了F和mmW应用的测量动态和方向性
8. 隔振
T52000采用两种类型的隔振解决方案,可在不网的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积与工业中常用的现有独立振动隔离表相当或更小
9. 软件套件 SENTIO
MPI自动化工程探针系统由*且革命性的多点触控操作控制 SENTIO软件套件—简单直观的操作节省了大量的培训时间,Scroll、Zoom,Move命令模仿现代智能移动设备,让每个人能在几分钟内成为专家。
对于RF应用,无需切换到另一个软件平台-MPI RF校准软件程序QAlibria与 SENTIO*集成-通过遵循单一操作概念方法易于使用
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