SPA-4000 棱镜耦合仪

SPA系列可以提供精确的、非接触、无损膜厚度测量，适用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜，在干涉条纹产生的基础上通过改变角度产生干涉条纹（VAMFO-变角度单色条纹观测）的方法。对于厚膜折射率的测量，单色光被直接照射到被测样品上，这样，从薄膜表面反射回来的光的干涉小值就会发生变化，光的入射角也会发生变化。在这种技术中，薄膜厚度是由两个干涉小值的角的位置计算出来的。对于这种测量条件——薄膜具有两个或两个以上的干扰小值——薄膜厚度必须大于低脱粒率，通常为2微米。样品夹持机采用真空从背面支撑样品，安装方便简单。可测量薄膜/基底的类型，硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介质、聚合物或薄膜。可测量的薄膜/衬底类型：氧化物、氮化物、介电材料、聚合物、或硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的薄膜。

采用带温控台的SPA-4000双棱镜对材料薄膜的光热学系数进行了测量，材料的光热系数被定义为折射率随温度变化的函数，可以被用作光学数字开关，Mach-Zehnder间距式和交叉式光学开关，这些光器件通过改变温度来控制光路，在网络通信中起着关键作用。该材料中泛引用的光学效应理论Prod’homme理论

产品特性：

1. 薄膜及波导折射率/厚度/光损测量

2. 折射率和薄膜厚度的高分辨率测量

3. 高精度测量散装或基材材料

4. 双层薄膜测量（甚至在波长1310 nm或1550 nm处有几个~㎛厚度）

5. 不相关的薄膜/基板组合

6. 无需预先知识，操作简单。

7. 批量或基板材料的高精度测量

8. 各向异性/双折射测量（TE和TM能力）

9. 快速表征

10. 可用于波长范围内的许多激光器（632.8nm~1550nm）

技术指标：

三、应用

光通信系统的光学元件

- 光学开关

- 用于WDM的可变光衰减器（VOA）（波分复用）

- 低光传播损耗

塑料光纤（POF）

- 用于光通信的塑料光纤放大器（POFA）

- 用于波导的高温聚合物

温度依赖性

聚合物的性质

- 研究聚合物的铬性质

- 信息显示和处理

- 存储材料

纳米器件：MEMS，微电子

应用领域:

使用SPA系列棱镜耦合仪可以测量所有类型的薄膜/基材。具体请参看下面表格。

这些散装和独立式胶片是可测量的。