| 测量范围 | 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 |
| 测量厚度小示值（nm） | ≤1 |
| 偏振器方位角范围 | 0°- 180°读取分辨率为0.05° |
| 偏振器步进角 | 0.014°/步 |
| 测量膜厚（nm） | ±1 |
| 折射率重复性精度 | ±0.01 |
| 度盘刻度 | 每格1度 |
| 仪器测量精度（nm） | ±0.5（薄膜厚度在10-100nm时） |
| 入射角调节范围 | 20°～90°精度为0.05° |
| 入射光波长（nm） | 632.8 |
| 光学中心高（mm） | 80 |
| 允许样品尺寸（mm） | φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15 |
| 外形尺寸（mm） | 590*390*320 |
| 主机重量（kg） | 28 |
| 基本配置 | TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪主机 | 1台 |
| TPY-2 | 主机电控箱 | 1套 | |
| 二氧化硅膜样片 | 1片 | ||
| TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪软件 | 1套 | |
| 需另配 | 计算机及打印机 | 1套 |
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