美国API公司XD系列激光干涉仪

美国API公司XD系列激光干涉仪
1D激光主要可以测量定位误差
　　3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）
　　5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角

仪器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉仪的各项参数(线性、直线度、角度)都是溯源到国家和标准上的。这些精度都经过美国国家标准局(NIST)、中国计量科学研究院和德国PTB等机构的检验-

携带方便、操作简单：全套系统重量仅为15千克.可以装入一个小型工具箱内。由于采用了凑型设计.XD Laser体积小，测量机床时无需使用三 脚架，使测量基准与机床的加工基准保持一致，简化了测量程序 (免拆机床护罩)。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤， 减少了调整时间，提高了机床使用效率。

激光干涉仪介绍：
      1D激光主要可以测量定位误差
　　3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
　　5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
技术参数：
　　5D/6D标准型：
　　1. 线性：0.5ppm .
　　2. 测量范围：40米(1D可选80米)
　　3. 线性分辨力：0.001um.
　　4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
　　5. *大范围：800角秒
　　6. 滚动角精度：1.0角秒
　　7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
　　8. 直线度*大范围：500um
　　9. 垂直度精度：1角秒
　　10. 温度精度：0.2摄氏度
　　11.湿度精度：5%
　　12.压力精度：1mmHg
主要特点：
　　1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
　　2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
　　3. 可选的无线遥控传感器*长的控制距离可到25米
　　4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。
　　5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架
　　6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

XD Laser被来自世界名地的API用户用于：
       CMMICNC的校准、补偿
       机床导轨平行度的测量
       旋转轴的测量
       垂直度的测量
       对角线的测量
       CNC反馈
       机器人位置反馈