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HEM

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简介:典型应用扫描电子显微镜SEM场发射电子显微镜FEM半导体分析,加工和修理离子束刻蚀聚焦离子束光刻纹波2ppm

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TYPICAL APPLICATIONS
Transmission scanning electron microscopy
Scanning electron microscopy
Semiconductor analysis, milling and repair
Ion beam etching
Focused ion-beam lithography

纹波2ppm

  威思曼高压电源的HEM系列是综合的多输出高电压电源,于聚焦离子束。典型的应用包括透射和扫描电子显微镜;半导体分析,铣削和修复光盘驱动器头,离子;束刻蚀和聚焦离子束光刻。模块化设计方法,允许个别组件可以很容易地配置在一个共同的机架大底盘安装装配。接口,逻辑和控制电路是采用表面贴装技术,尽量减少成本和尺寸。集成加速电源、灯丝电源,吸取极电源,抑制极电源和镜头电源。超低输出纹波,的调整率、稳定性、温漂、精度。高电压悬浮、数字化控制技术。HEM系列高精度模块价格有竞争力,是OEM应用的理想选择。


技术参数:

输入:DC24V, 47到63Hz

加速极电源
输出电压:0到-35KV
输出电流:450μA
纹波:70 mV P-P,从0.1 Hz到1MHZ
线路调整率:输入变化+ / -10%为100mV
负载调整率:± 0.01%,电压,满负荷变化
稳定度:预热2小时候后,1.5V/10小时
温度系数:25 PPM / °C

灯丝电源
输出电压:0至5 VDC
输出电流:0到5 A
纹波:10mA P-P,从0.1 Hz到1MHZ
线路调整率:+ / -10%变化为5mA
负载调整率:± 0.1%,电压,满负荷变化
稳定性:预热2小时后5mA/10分钟
温度系数:200 PPM / °C

抑制极电源
输出电压:-10v 到- 2kv
输出电流:300uA
纹波:20 mV P-P,从0.1 Hz到1MHZ
线路调整率:输入+ / -10%变化为100mV
负载调整率:± 0.01%,电压,满负荷变化
稳定性:预热2小时后,500mV/10小时
温度系数:25 PPM / °C

吸取极电源
输出电压:0到-15KV
输出电流:400μA
纹波:30 mV P-P,从0.1 Hz到1 MHZ,30μA以下
线路调整率:输入+ / -10%的变化为100mV
负载调整率:± 0.01%,电压,满负荷变化
稳定性:预热2小时后,500mV/10小时
温度系数:25 PPM / °C


威思曼高压电源有限公司是直流高压电源和一体化X射线源供应商,同时提供标准化产品和定制设计服务。产品广泛应用于医疗,工业,半导体,安全,分析仪器,实验室以及海底光纤等设备。



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