美国OAI成立至今已有35年历史，在光源制造和测量方面一直处领域。
OAI光源以工作稳定，出光效率高，高均匀性和散射角小著称。且可提供20inch以上的大面积光源。 OAI光功率计在工业上有广泛应用，包括NIKON，CANON，ASM等光刻机制造商均使用OAI光功率计。
OAI也生产光刻机，尤其是OAI MODEL 800系列双面曝光机，在世界范围内有着非常广泛的应用。
OAI MODEL 800MBA
双面对准曝光机
曝光模式 接近、软/硬接触、真空接触
掩膜尺寸大9"x9"
大适合200mm晶圆曝光
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