Picomotor 真空和超高真空PicomotorTM促动器

• 适用于10–6 托真空环境
• 经校准的高精度定位技术，具有所有传统Picomotor 促动器的优点
• 兼容于我们的iPico™网络控制器

8310-V型闭环Picomotor 促动器可理想适用于闭环控制和校准应用，与8310型闭环Picomotor促动器一样, 8310-V型拥有一个旋转编码器，可提供正向、反向限位开关。它结合了Picomotor促动器的优点，分辨率<30-nm,可承受负载>5 lbs (22 N)，以及*的的*稳定性和真空兼容性，在其行程内双向重复性可达±1-µm。

用户可以使用8751-CL型智能闭环驱动器来控制8310-V 型闭环Picomotor促动器。我们的调制智能Picomotor (iPico)驱动和控制器可提供能够搭建多种标准Picomotor促动器以及同时搭建一个和多个闭环Picomotor促动器控制网络的能力。

技术说明

使用闭环Picomotor™促动器达到纳米级运动控制的一些技巧：

当接近目标编码器的计数时，闭环Picomotor促动器可提供 <1-µm 重复性和63.5-nm 编码器分辨率。 (实际马达的步距要小得多——接近20 nm.) 为了达到恒定的纳米性能，你仅需了解一些注意事项即可。

使用前可在不锈钢珠顶端和负载表面之间涂上少量润滑油来防止磨损和划伤。我们*Krytox GPL 205 或低气压型油膏 LVP LCT-42.

保证在不锈钢珠顶端和负载表面之间没有散落的碎片。即使有少量微米级的微粒也会使读数和实际移动距离之间造成 0.1 到 10 微米的偏差。

只能用于推动光滑坚硬的平面，例如Newfocus的平移台和镜架。铝或不锈钢表面会使不锈钢珠脱落。如果负载表面太软，在不锈钢珠顶端和负载表面界面处会变形，导致表面摩擦力增大，之后会使表面粗糙，降低重复性。

不要推挤圆锥或V型区域，特别是铝这类柔软材料。当不锈钢珠在柔软物质里摩擦圆锥或V型物体，产生的微粒会导致阻力增加。甚至使马达停止转动。

为了避免促动器螺纹收到伤害，请不要用任何坚硬物体触碰螺纹区域。为了提供优良的分辨率，这些螺纹都十分精密。如果螺纹受损会直接影响产品的使用寿命。

避免过度夹紧马达外壳。这会增加内部旋转螺丝和外部固定外壳之间的摩擦力，从而导致马达的运动速度变慢甚至*损坏，也同样会损伤螺纹。

定期检测不锈钢珠顶端和负载表面的磨损情况，及时采取必要的措施。

• 可用于VUV/EUV和UHV环境中
• 分辨率<30nm，采用非旋转顶部设计
• 使用寿命>5,000圈

8330增强型Picomotor促动器专为超净、真空等环境下设计，包括超真空紫外环境 (VUV) 和极限紫外环境 (EUV) 的应用等等。它拥有一个特殊的密封阀，确保了促动器在整个行程范围内的洁净度。理想适用于半导体工业或科学实验室中压力小到10–9 托的精确运动控制和光束控制应用。

促动器提供<30-nm的分辨率 (超过3mm行程范围) ，并拥有*的*稳定性。它们无需额外的能量输入就能*定位，且硬度*。由于体积紧凑，所以8330能被轻松集成到OEM产品中，同样也能在光学仪器和光学平台上实现更加精确的光束调整控制。其非旋转的顶部设计能提供更高的分辨率

增强型Picomotor促动器经标准气相色谱质谱联用分析(GCMS)测试，在85 °C情况下超过三小时泄漏气体少于0.1 ppm。质谱图结果显示泄漏气体的成分符合标准。

我们提供两种连接线 (需另外购买) 把促动器连接到驱动器 (型号8339)，或先接一个反馈装置，再到驱动器(型号 8338)。