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GC-9560-PDD 含氟电子气分析用氦离子色谱仪

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GC-9560-PDD含氟电子气分析用氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

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GC-9560-PDD含氟电子气分析用氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。含氟电子气分析用氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。

     

氟的技术指标:                                                

项目指标
氟(F2)(体积分数)/10-2                   99
氧(O2)+氮(N2)(体积分数)(N2)/10-20.45
四氟化碳(CF4)(体积分数)/10-20.05
氟化氢(HF)(体积分数)/10-20.5

 

氟氮混合气的技术指标:                                           

项目指标
氟(F2)(体积分数)/10-2   20
氮(N2)(体积分数)(N2)/10-2 80
氧(O2)(体积分数)(N2)/10-20.08
四氟化碳(CF4)(体积分数)/10-20.03

 

 

上海华爱色谱分析技术有限公司

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