nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。 英国爱德华涡旋真空泵干式涡旋泵nXDS6i

nXDS 干式涡旋泵

Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、*的真空性能，性能居同类产品。

nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。 

nXDS 泵可*进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今先进技术的小型干泵。

英国爱德华涡旋真空泵干式涡旋泵nXDS6i

• 工作环境更好，环境影响低： 
  安静运转
• 操作简单： 
  智能且易于使用控制
• 无污染且不需要处理油： 
  采用密封结构，实现了无润滑剂真空环境
• 低拥有 成本： 
  长维修间隔和低功耗 
• 更快的制程： 
  出色的蒸汽处理能力 

应用

• 一般清洁泵送
• 电子扫描显微镜 (SEM)
• 射束线和高能物理
• 前级涡轮泵
• 超高速离心机

 英国爱德华涡旋真空泵干式涡旋泵nXDS6i

主要特性和优势

• 真空外壳中 不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空， 防止交叉污染
• 无大气压到 真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长
• 简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需低程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间
• 改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本
• 先进的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视

泵系列

下一代*无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可*进行现场维修。

• nXDS6i
• nXDS10i
• nXDS15i
• nXDS20i
• nXDS-C

特性与优势

• 真空外壳中不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空，防止交叉污染
• 无大气压到真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
• 简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
• 改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
• 先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视

技术数据